








一·單管區(qū)熔爐 采用觸摸屏進(jìn)行操作 設(shè)備用途:
1. 提純金屬、半導(dǎo)體、有機(jī)和無機(jī)的化學(xué)材料;
2. 區(qū)熔致勻(使一種欲摻入的雜質(zhì)十分均勻地分布在整個(gè)單晶
體中)
3. 焊接和測量液體中的擴(kuò)散率等。
二·單管區(qū)熔爐 采用觸摸屏進(jìn)行操作設(shè)備優(yōu)點(diǎn):
1·區(qū)熔加熱爐采用往復(fù)區(qū)熔的方式,閉環(huán)溫度控制,可靠的控制熔區(qū)的寬度問題;生長室的設(shè)計(jì)成功解決生長室的污染問題,
2·將加熱及保溫材料均設(shè)置在生長腔室外部,采用高純石英作為腔室,同時(shí)抽真空;將流動(dòng)高純氫氣通入腔室,去除腔室中的微量氧,解決氧化的問題;
3·開發(fā)高柔性的控制軟件,采用觸摸屏進(jìn)行操作,任意設(shè)置區(qū)熔的溫度,區(qū)熔的速度及次數(shù)。
三·主要技術(shù)參數(shù)
1.加熱溫度: 1100℃ 使用溫度:≤1000℃(主加熱采用紅外測溫)
2.設(shè)備功率: 10Kw±10% 三相380v 50Hz(三相五線制)
3.超高頻感應(yīng)電源功率: 6Kw±10% 單相220v 50Hz(三相五線制)
4.主加熱方式: 高頻感應(yīng)加熱
5.設(shè)計(jì)前配置輔助加熱:采用電阻加熱 加熱功率≤1kw 溫度范圍≤500℃,溫度可控可設(shè)定。
4.冷態(tài)極限真空度: ≤5Pa
5·石墨舟尺寸:Ф50*400mm(內(nèi)徑*長度,半圓柱)(根據(jù)實(shí)際微調(diào)整)
6·石英管(腔室)尺寸:¢60*1000(根據(jù)實(shí)際加熱分布情況做調(diào)整)
7·加熱方式: 高頻感應(yīng)加熱
9·區(qū)熔熔區(qū)長度及速度:400mm 位移行程 ≥500mm
快速:50-200mm/min(伺服控制)可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)
10.爐內(nèi)充氣壓力: ≤0.03MPa(氬氣 氫氣)
11·充氣系統(tǒng): 自動(dòng)充放氣(配置氫氣點(diǎn)火裝置)


















